マグネシウム誘起結晶化による多結晶シリコン薄膜の低温合成
マグネシウム誘起結晶化による多結晶シリコン薄膜の低温合成
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镁诱导晶化低温合成多晶硅薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
南亮輔,笹島良太,鵜殿治彦,佐藤直幸,池畑隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鬼沢 雄馬;秋山 智洋;中野 達也;津谷 大樹;鵜殿 治彦;南亮輔,笹島良太,鵜殿治彦,佐藤直幸,池畑隆
