Prediction of Abnormal Etching Profile in High-Aspect-Ratio Via/Hole Etching Using On-Water Monitoring System
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使用水上监测系统预测高深宽比通孔/孔蚀刻中的异常蚀刻轮廓
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大竹浩人;福田誠一;陣内佛霖;辰巳知彦;寒川誠二
