オンチップ細胞サージェリーシステムのためのナノニードルアレイの開発-シリコンのドライエッチング特性の評価-

オンチップ細胞サージェリーシステムのためのナノニードルアレイの開発-シリコンのドライエッチング特性の評価-
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用于片上细胞手术系统的纳米针阵列的开发-硅干蚀刻特性的评价-

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
増澤 徹 ほか
増澤 徹 ほか
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
伊藤圭介;柴田隆行;水上良明;堀内 宰;増澤 徹 ほか

文献摘要

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