オンチップ細胞サージェリーシステムのためのナノニードルアレイの開発-シリコンのドライエッチング特性の評価-
オンチップ細胞サージェリーシステムのためのナノニードルアレイの開発-シリコンのドライエッチング特性の評価-
复制标题
用于片上细胞手术系统的纳米针阵列的开发-硅干蚀刻特性的评价-
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
増澤 徹 ほか
中科院分区:
文献类型:
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作者:
伊藤圭介;柴田隆行;水上良明;堀内 宰;増澤 徹 ほか