小型斜入射干渉計の導入によるきさげ加工面の精密測定に関する研究
小型斜入射干渉計の導入によるきさげ加工面の精密測定に関する研究
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引入小型掠入射干涉仪进行刮削面精密测量研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊東聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊東聡
