フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング
フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング
复制标题
氟化物晶体的飞秒激光辅助蚀刻
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松尾繁樹;他
