液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiCの窒化
液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiCの窒化
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液氮中脉冲激光辐照 SiC 氮化
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
嶋林正晴
中科院分区:
文献类型:
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作者:
嶋林 正晴;嶋林正晴