Observation of Si Emission during Thermal Oxidation of Si(001) with High-Resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics
Observation of Si Emission during Thermal Oxidation of Si(001) with High-Resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics
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用高分辨率 RBS 核仪器和物理方法观测 Si(001) 热氧化过程中的 Si 发射
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Shiraishi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Hosoi;K.Nakajima;M.Suzuki;K.Kimura;Y.Shimizu;S.Fukatsu;K.M.Itoh;M.Uematsu;H.Kageshima;K.Shiraishi
