M.Koh: "Simple nanostructuring of Si surfaces by means of focused beam patterning and wet etching"Applied Surface Science. 162-163. 599-603 (2000)

M.Koh: "Simple nanostructuring of Si surfaces by means of focused beam patterning and wet etching"Applied Surface Science. 162-163. 599-603 (2000)
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M.Koh:“通过聚焦光束图案化和湿法蚀刻对硅表面进行简单的纳米结构”应用表面科学。

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