Mg implantation in AlN layers on sapphire substrates
Mg implantation in AlN layers on sapphire substrates
复制标题
蓝宝石衬底上 AlN 层中的 Mg 注入
DOI：
10.35848/1347-4065/acb898
复制
发表时间：
2023
影响因子：
1.5
通讯作者：
Uedono Akira
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Okumura Hironori;Uedono Akira
