武山 真弓、他2名: "低温作製された極薄ZrN膜のCu-Si間の拡散バリヤ効果" 第45回応用物理学関係連合講演会. (1998)
武山 真弓、他2名: "低温作製された極薄ZrN膜のCu-Si間の拡散バリヤ効果" 第45回応用物理学関係連合講演会. (1998)
复制标题
Mayumi Takeyama 等 2 人:“低温制备的超薄 ZrN 薄膜中 Cu 和 Si 之间的扩散势垒效应”第 45 届应用物理协会讲座(1998 年)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: