Shigeo Fukada: "Ultra-precision Positioning with Nanometric Resolution Using Leadscrew Mechanism"Proceedings of the 1st International euspen Conference. Vol.1. 56-59 (1999)
Shigeo Fukada: "Ultra-precision Positioning with Nanometric Resolution Using Leadscrew Mechanism"Proceedings of the 1st International euspen Conference. Vol.1. 56-59 (1999)
复制标题
Shigeo Fukada：“利用丝杠机构实现纳米级分辨率的超精密定位”第一届国际 euspen 会议论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
