吸引駆動型ポリマーMEMS ミラーの駆動特性に関する有限要素解析
吸引駆動型ポリマーMEMS ミラーの駆動特性に関する有限要素解析
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吸力驱动聚合物MEMS镜驱动特性的有限元分析
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木孝明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木淳也;三浦卓也;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;生津資大;森角寿之;大平文和;鈴木孝明
