原子層堆積装置によるHfO2薄膜の成膜と特性評価
原子層堆積装置によるHfO2薄膜の成膜と特性評価
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利用原子层沉积设备沉积HfO2薄膜并进行性能评价
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柴田憲治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
太田強;佐々木麟太朗;柴田憲治
