Metrology of Periodic 3D Nanostructures using Spectroscopic Scatterometry
Metrology of Periodic 3D Nanostructures using Spectroscopic Scatterometry
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使用光谱散射测量法进行周期性 3D 纳米结构计量
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chang, Chih-Hao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Lee, Sang Lee;Chien, Kun-Chieh;Groh, Barbara;Cullinan, Michael;Chang, Chih-Hao
