E. Makino. T. Shibata, and Y. Yamada: "Micromachining of fine ceramics by photolithograph"Sensors and Actuators. A75/3. 278-288 (1999)
E. Makino. T. Shibata, and Y. Yamada: "Micromachining of fine ceramics by photolithograph"Sensors and Actuators. A75/3. 278-288 (1999)
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E.牧野。
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