MOSトランジスタへのErイオン注入と1.5 μm帯光励起電流の計測
MOSトランジスタへのErイオン注入と1.5 μm帯光励起電流の計測
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Er离子注入MOS晶体管及1.5μm波段光激发电流的测量
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
谷井孝至
中科院分区:
文献类型:
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作者:
藤本宇郁;魏啓楠;鈴木雄大;清水康雄;井上耕治;永井康介;M.Celebrano;E. Prati;L. Ghirardini;M. Finazzi;品田高宏;谷井孝至