Microscopic laser interferometry to measure the displacement of micromechanical objects
Microscopic laser interferometry to measure the displacement of micromechanical objects
复制标题
显微激光干涉测量微机械物体的位移
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Fumihito Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirotaka Sugiura;Shinya Sakuma;Fumihito Arai
