EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法
EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法
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EUV成像系统曲面多层镜引起的色差及其校正方法
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Toyoda;Y. Tamaru;S. Mori;K. Sawada;Y. Fu;E. J. Takahashi;A. Suda;F. Kannari;K. Midorikawa;M. Yanagihara;金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
