遷移金属微粒子を用いた研磨法によるGaN基板の平坦化-基礎加工特性の検討-
遷移金属微粒子を用いた研磨法によるGaN基板の平坦化-基礎加工特性の検討-
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通过使用过渡金属微粒的研磨法实现GaN基板的平坦化-基本加工特性的研究-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮本士郎;久保田章亀;安井平司;山内和人
