Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
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浮动衬管电感耦合等离子体中小接地面对等离子体特性的影响
DOI：
10.35848/1347-4065/ac7e19
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发表时间：
2022
影响因子：
1.5
通讯作者：
Toyoda Hirotaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kyuzo Manabu;Chiba Yukinori;Suzuki Haruka;Toyoda Hirotaka
