フルオロカーボンプラズマを用いたナィ構造体の形成
フルオロカーボンプラズマを用いたナィ構造体の形成
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使用碳氟化合物等离子体形成 Nye 结构
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. D'Agostino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平松美根男;堀 勝;P. Favia;R. D'Agostino
