ESASHI,M.,SHOJI,S.and TANJI,J.: "Three-dimensional microfabrication for microprobe sensors." Technical Digest of The 9th Sensor Symposium. 223-236 (1990)
ESASHI,M.,SHOJI,S.and TANJI,J.: "Three-dimensional microfabrication for microprobe sensors." Technical Digest of The 9th Sensor Symposium. 223-236 (1990)
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ESASHI,M.、SHOJI,S. 和 TANJI,J.：“微探针传感器的三维微加工。”
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