SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討
SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討
复制标题
硅光子MEMS光栅制作方法研究
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野義昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石塚彰;肥後昭男;中野義昭
