High-speed deposition of yttria-stabilized zirconia and titatnia films by laser chemical vapor deposition
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激光化学气相沉积高速沉积氧化钇稳定氧化锆和氧化钛薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Kimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Ito;H.Masumoto;T.Goto;T.Kimura
