Development of High Power Pumping System for Capillary Duscharge EUV Laser
Development of High Power Pumping System for Capillary Duscharge EUV Laser
复制标题
毛细管放电EUV激光器高功率泵浦系统的研制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yusuke Sakai;Takanori Komatsu;Masato Watanabe;et al.
