Control of Crystalline Microstructures in Metal Gate Electrodes for Nano CMOS Devices
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复制标题
纳米 CMOS 器件金属栅电极晶体微结构的控制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ohmori;T. Chikyow;T. Hosoi;H. Watanabe;K. Nakajima;T. Adachi;A. Ishikawa;Y. Sugita;Y. Nara;Y. Ohji;K. Shiraishi;K. Yamabe;K. Yamada
