Dynamic Structural Analysis of CMP Process Using ALE Method
Dynamic Structural Analysis of CMP Process Using ALE Method
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使用 ALE 方法进行 CMP 工艺的动态结构分析
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. Shamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Suzuki;Y. Hashimoto;R. Hino;E. Shamoto
