石丸和博: "無声放電によるリモートプラズマを用いたシリコン酸化膜のCVDに及ぼす減圧の影響"第38回日本伝熱シンポジウム講演論文集. (発表予定). (2001)
石丸和博: "無声放電によるリモートプラズマを用いたシリコン酸化膜のCVDに及ぼす減圧の影響"第38回日本伝熱シンポジウム講演論文集. (発表予定). (2001)
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Kazuhiro Ishimaru：“通过无声放电使用远程等离子体对氧化硅薄膜进行减压的效果”，第 38 届日本传热研讨会论文集（待发表）。
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