秋田貢一, 大谷眞一, 萩原芳彦ほか: "シンクロトロン放射光によるMEMS内アルミニウム配線の応力評価"日本機械学会2003年度年次大会講演論文集. Vol.1. 243-244 (2003)

Koichi Akita、Shinichi Otani、Yoshihiko Hagiwara 等人：“使用同步加速器辐射对 MEMS 中的铝布线进行应力评估”日本机械工程师学会 2003 年年会论文集 1. 243-244（2003 年）。