Y.Nozaki: "Identification of Si and SiH in Catalytic Chemical Vapor Deposition of SiH_4 by Laser Induced Fluorescence Spectroscopy"J.Appl.Phys.. 88. 5437-5443 (2000)
Y.Nozaki: "Identification of Si and SiH in Catalytic Chemical Vapor Deposition of SiH_4 by Laser Induced Fluorescence Spectroscopy"J.Appl.Phys.. 88. 5437-5443 (2000)
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Y.Nozaki：“通过激光诱导荧光光谱法识别 SiH_4 催化化学气相沉积中的 Si 和 SiH”J.Appl.Phys.. 88. 5437-5443 (2000)
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