CVD法によるMoS2の形態制御とプラズマ処理による硫黄欠陥密度の最適化
CVD法によるMoS2の形態制御とプラズマ処理による硫黄欠陥密度の最適化
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通过CVD方法控制MoS2的形貌并通过等离子体处理优化硫缺陷密度
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荻野 明久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
浅田 柊哉;荻野 明久
