Characteristics of Interferometric Measuring System for Sub-Nanometer Positioning
Characteristics of Interferometric Measuring System for Sub-Nanometer Positioning
复制标题
亚纳米定位干涉测量系统的特点
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshihisa Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福田浩士;小田垣雅人;樋脇治;Yoshihisa Uchida
