フェムト秒レーザ・ダブルパルス加工による非対称表面を用いたマイクロパーツの輸送

フェムト秒レーザ・ダブルパルス加工による非対称表面を用いたマイクロパーツの輸送
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通过飞秒激光双脉冲加工利用非对称表面传输微型零件

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
日本機械学会論文集(C編) Vol.75,No.760
影响因子:
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通讯作者:
平井慎一
平井慎一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
三谷篤史;平井慎一

文献摘要

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