Emission and sputtering characteristics of Ne-Ar mixed gas glow discharge plasmas
Emission and sputtering characteristics of Ne-Ar mixed gas glow discharge plasmas
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Ne-Ar混合气体辉光放电等离子体的发射和溅射特性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. C. Lee
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Park;M. Tsukiji;K. Wagatsuma;S. C. Lee
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