真空管道自体溅射镀TiN膜研究
真空管道自体溅射镀TiN膜研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赵飞云
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王勇;尉伟;张耀锋;王建平;范乐;耿会平;赵飞云
