基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響

基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響
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寄生电感对带基底压电薄膜结构kt2评估方法的影响

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柳谷 隆彦
柳谷 隆彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山中 恵理;近藤 圭太;龍見 亮汰;柳谷 隆彦

文献摘要

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