複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発
複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発
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复合材料水射流加工细毛静电吸盘制造方法的开发
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
凌智寛，田岡祐樹，ヘムタビーパソムポーン，高橋邦夫，齊藤滋規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toshihiro Nishimura;Yoshinori Fujihira;Ryota Adachi;Tetsuyou Watanabe;凌智寛，田岡祐樹，ヘムタビーパソムポーン，高橋邦夫，齊藤滋規
