Crystallized ZnO Room-Temperature Atomic Layer Deposition and its Application
Crystallized ZnO Room-Temperature Atomic Layer Deposition and its Application
复制标题
晶化ZnO室温原子层沉积及其应用
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
*K. Yoshida;K. Saito;M. Miura;K. Kanomata;B. Ahmmad;S. Kubota;F. Hirose
