配線端部のドリフト速度計測に基づいた金属薄膜配線物性値の導出
配線端部のドリフト速度計測に基づいた金属薄膜配線物性値の導出
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基于布线末端漂移速度测量推导金属薄膜布线的物理特性
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂 真澄)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川昌孝;(笹川和彦;宇野茂雄;坂 真澄)
