硬質アモルファス窒化炭素薄膜の創製と気相プラズマ診断にもとづく薄膜生成機構の解析
硬質アモルファス窒化炭素薄膜の創製と気相プラズマ診断にもとづく薄膜生成機構の解析
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基于气相等离子体诊断的硬质非晶氮化碳薄膜的制备及薄膜形成机理分析
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤治彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Ito;K.Hori;H.Saitoh;伊藤治彦
