ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究
ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究
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纳米压印紫外固化树脂温度依赖性研究
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
谷口淳
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐竹信一;金井高弘;米本幸弘;海野徳幸;谷口淳