高温下での水素・窒素同時供給によるサファイア基板表面分解・AlN形成における面方位依存性
高温下での水素・窒素同時供給によるサファイア基板表面分解・AlN形成における面方位依存性
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高温下同时供应氢和氮导致蓝宝石衬底表面分解和 AlN 形成的表面取向依赖性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
纐纈明伯
中科院分区：
文献类型：
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作者：
猪木孝洋;国崎敦;富樫理恵;村上尚;熊谷義直;柳裕之;纐纈明伯
