軟X線照射による高水素化DLC膜の表面改質
軟X線照射による高水素化DLC膜の表面改質
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软X射线辐照对高度氢化DLC薄膜进行表面改性
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松井真二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
神田一浩;横田久美子;田川雅人;松井真二