新規凹凸転写技術における転写精度に及ぼす摩擦条件の影響
新規凹凸転写技術における転写精度に及ぼす摩擦条件の影響
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新型不均匀转移技术中摩擦条件对转移精度的影响
DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柵木佑介,吉川泰晴
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yasuharu Yoshikawa;Yusuke Masegi;西山拓実,吉川泰晴;柵木佑介,吉川泰晴