サファイア(0001)基板のステップバンチングによるAlN薄膜の周期的ツイストの除去
サファイア(0001)基板のステップバンチングによるAlN薄膜の周期的ツイストの除去
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通过蓝宝石 (0001) 衬底上的阶梯聚束去除 AlN 薄膜中的周期性扭曲
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川上養一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林佑樹;松田和久;R.G.Banal;船戸充;川上養一
