宇佐美 晶: "2波長光源を用いた光伝導度変調法によるSiウェ-ハ表面の汚染パタ-ンの非接触評価" 電子情報通信学会技報シリコン材料デバイス. SDMー90ー41. 31-36 (1990)
宇佐美 晶: "2波長光源を用いた光伝導度変調法によるSiウェ-ハ表面の汚染パタ-ンの非接触評価" 電子情報通信学会技報シリコン材料デバイス. SDMー90ー41. 31-36 (1990)
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Akira Usami：“使用双波长光源通过光电导调制方法对硅晶片表面的污染图案进行非接触式评估”IEICE 技术报告 SDM-90-41 (1990)。
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