Yoshi KATO and Shigeyuki ISHII: "Production of Multiply Charged lons by Utilizing Pulsed ECR Plasma" Ion Implantation Technology-98. Vol.1(in press). (1999)

Yoshi KATO and Shigeyuki ISHII: "Production of Multiply Charged lons by Utilizing Pulsed ECR Plasma" Ion Implantation Technology-98. Vol.1(in press). (1999)
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Yoshi KATO 和 Shigeyuki ISHII:“利用脉冲 ECR 等离子体生产多重电荷离子”离子注入技术-98。

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