Polymer stamps for nanoimprinting

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用于纳米压印的聚合物印模

DOI:
10.1016/s0167-9317(02)00577-4
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发表时间:
2002
影响因子:
2.3
通讯作者:
F. Steingrueber
F. Steingrueber
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
K. Pfeiffer;M. Fink;G. Ahrens;G. Gruetzner;F. Reuther;J. Seekamp;S. Zankovych;C. Torres;I. Maximov;M. Beck;Mariusz Graczyk;L. Montelius;H. Schulz;H. Scheer;F. Steingrueber

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