反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の加熱による仕事関数低下量の評価
反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の加熱による仕事関数低下量の評価
复制标题
反应溅射法形成的氮化铪薄膜因加热而导致功函数降低的评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
後藤康仁
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大住知暉;長尾昌善;後藤康仁
