超精密機器における流体/気体軸受の設計と技術動向【解説】
超精密機器における流体/気体軸受の設計と技術動向【解説】
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超精密设备中流体/气体轴承的设计及技术趋势【解说】
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平山朋子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toshiyuki Takagi;Takanori Takeno;Hiroyuki Miki;平山朋子
